真空泵，真空箱，真空系統

 

旋片式真空泵

旋片式真空泵，是抽除密封容器中的氣體從而獲得真空的主要設備。

旋片式真空泵的極限真空為 6X10 -2 Pa抽氣量為2∼100L/S，用于抽除密封容積中的干燥氣體

或含有少量可凝性蒸汽的氣體，用于後者時，需要使用該泵的氣鎮裝置。可以用作羅茨泵的前級泵，

適合于中小型的真空冶煉、真空焊接、真空處理、冷凍干燥、電子管、以及半導體器件、電子束加工、

電子顯微鏡等現代工業技術方面。缺點︰旋片式真空泵只能在環境溫度5∼40°範圍內，此種泵對

于抽除含氧過高的、有爆炸性的、對金屬有腐蝕性的、對真空油起化學反應的以及含有顆粒灰塵的氣

體是不適合的；把氣體從一個容器輸送到另一個容器作輸送泵使用也是不適用的。

基本型號︰旋片式真空泵型號分為2X-4A 2X-8A2X-15A2X-30A2X-70AX-100AX-100B X-100C。2表示2級

真空泵，X表示旋片泵，-4表示本型號的最大抽氣量。

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